是电子束微影中常用的正阻剂，是由单体酸甲酯(methyl methacrylate, MMA)经聚合反应而成。用在电子阻剂的PMMA 通常分子量在数万至数十万之间，受电子束照射的区域PMMA 分子量将变成数百至数千，在显影时低分子量与高分子量PMMA 溶解度的对比非常大。
负阻剂方面，多半由聚合物的单体构成。在电子束曝照的过程中会产生聚合反应形成长链或交叉链结(crosslinking)聚合物，所产生的聚合物较不易被显影液溶解因而在显影后会留在基板表面形成微影图案。目前常用的负阻剂为化学倍增式阻剂(chemically amplified resist)，经电子束曝照后产生氢离子催化链结反应，具有高解析度、高感度，且抗蚀刻性高。
电磁脉冲阀：指将电磁阀、先导阀与脉冲阀组合在一起，直接受电信号控制的膜片阀。
电磁脉冲阀的工作原理就是控制油路中油压的大小。一般安装在主油路誉族或减振猜模器背压油路中，以减少换档和锁止时的油压冲击，使设备运行保持平稳状态。脉冲电磁阀亦称隔膜阀,是用来控制流体的自动化基础元件,属于执行器;并不限于液压、气动,电磁阀用于控制液压流动方向,工厂的机械装置一般都由液压钢控制,所以就会用到电磁阀。脉冲袋式除尘器清灰喷吹系统的压缩空气"开关",受脉冲喷吹控制仪输出信号的控制,对滤袋逐排喷吹清灰,使除尘器的阻力保持在设定的范围之内,以保证除尘器的处理能力和收尘效率.
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